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一百三十

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    一百三十 (第2/3页)

么还没动静?”

    “年轻人少安毋躁!”虞博士成竹在胸,“没有三两三,哪敢上梁山!一年多都等下来了,还在乎这点时间,我们虽说有点钱,但也禁不起造的,准备充分一点还是有好处的。”

    欲善其事先利其器的道理长久还是懂得,倒也没说什么。虞博士这些日子的辛劳他也看在眼里,人家都身先士卒了,长久一个头还能不表示表示?

    忙碌了一周之后,生产线悄无声息的开动了,一片片的晶圆犹如烤面包一样的在炉子里面旋转烘烤。一片灰尘就能报废整个的晶圆,人人在里面都得穿上防化服,防止各种各样的污染。

    这个生产线还不是全自动化的,依然有人在里面做一些必须的工作,人人都小心翼翼,手里端的可都是希望。

    整整72小时,第一批的16k存储器晶圆出炉了,经过切割检测,一个大致的成品率数据被估算出来了。

    “百分之七十八,嗯。”虞博士嘴里念叨着,脸上不动声色。

    长久也不知道这个数据是好是坏,只好问道:“虞叔怎么样,能不能成啊。”

    虞博士笑道:“还行,等我们的工艺参数微调之后相信会更好。”

    “那就是成功了!”长久拿着一块成品晶圆兴奋的大叫,“万岁!”

    这是一颗16Kbit的mos管动态存储器,是基于单晶体管存储单元的结构,使用了两层多晶薄膜分开三层电路结构,就好像电路板分层一样。

    两层多晶结构可以使整个的集成电路可以有更好的布线效率,就相当于一块电路板双层的可以比单层的面积缩小一半。

    这是存储器制造工艺的一个革命性的改进,是虞博士亲自开发的。美国人早在1975年就实现了这个工艺,而华夏在这个年代还没有这样的技术,这次成功也算是一个小小的突破吧。

    为了制造出两层多晶膜,这颗动态存储器使用了7层掩膜(MASK)。所谓掩膜,就是一张刻有图形的透光板而已。

    我们都会用硬纸板写字或画上图案,然后按着图形掏空,拿喷漆一喷就是一个字或图案出来了。集成电路也是一样,只不过光代替了喷漆,而掩膜板代替了硬纸板而已。

    集成电路生产线使用的掩膜板大多是石英玻璃,表面喷涂了金属铬,用照相技术或者电子束在其上进行感光,之后酸一洗就是一个带着图案的掩膜版。

    长久他们的工厂设备分辨率只能达到1~到3微米,只能进行分步投影,接近正常的图形,七层掩膜就是做这个用的。

    三英寸的硅晶

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